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LABORATORIO DE PELÍCULAS DELGADAS

By agosto 26, 2014 No Comments

El Laboratorio de Películas Delgadas desarrolla investigaciones tanto del proceso de crecimiento de películas delgadas del tipo metálicas y cerámicas del orden de los nanómetros, así como de sus propiedades físicas, químicas, estructurales y de tribología.

Equipamiento e instrumentos

El laboratorio cuenta con un sistema de deposición de películas delgadas llamado Magnetron Sputtering (pulverizador catódico) cuya finalidad es depositar y crecer de forma controlada películas delgadas de materiales metálicos y cerámicos.

El laboratorio también cuenta con un sistema automatizado de medida de la variación en curvatura de substratos de silicio con el objetivo de determinar el estrés intrínseco que se genera en las películas delgadas durante su proceso de crecimiento.

http://uchile.cl/i91110